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新聞詳情

osakavacuum大阪真空腐蝕性氣體泵送干泵ER100DC

日期:2026-01-09 03:37
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摘要:osakavacuum大阪真空腐蝕性氣體泵送干泵ER100DC

osakavacuum大阪真空腐蝕性氣體泵送干泵ER100DC

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ER系列:節能多級根泵

ER系列通過其獨特的轉子設計和怠速功能實現了世界**的節能和緊湊性能。憑借耐腐蝕選項,ER系列可在輕型領域如負載鎖和SEM到腐蝕工藝等廣泛應用中運行。

ER100D/ER100DC


-ER100D/ER100DC在能源效率、輕便和緊湊性方面均為同級*佳之一。
極限壓力下
能耗:400W
占地面積:0.11米
2
重量:60公斤


- 有兩種類型可供選擇。

ER100D:用于輕負載、非腐蝕性氣體泵送
ER100DC:采用防腐材料,用于腐蝕性氣體泵送


應用

- 清潔排氣
系統 - 濺射系統
- TMP
的后備真空泵 - 負載鎖定與轉移室
- 小型實驗室系統
- 小型爐子
- 分析設備
- 離子源,電子槍

模型 ER100D/ER100DC
體積流量(L/min) 1670
基壓(Pa) 5.0
極限壓力(W)下的能量消耗 400
電源 電壓(V) 200-220
頻率(Hz) 50/60
階段 三相
功率能力(kVA) 3.2
N2氣體凈化通量(Pa·m3/s) 17-20
冷卻系統 水冷
所需流量(L/min) 1.5-3.0
所需溫度(°C) *多30人
體重(公斤) 60

[對應氣體]
某些需要抽空的氣體可能會損壞泵。
請聯系大阪真空,獲取適用的燃氣類型列表。


京公網安備 11030102010384號