高溫真空熱處理爐<VHF>系列

■我們提供各種真空爐，以滿足客戶的應用，具有廣泛的經驗和技術。

臥式內部加熱 VHF-I.-H

立式內部加熱 甚高頻-I.-V

臥式外部加熱 VHF-E-H

真空爐的種類和結構

在真空氣氛中加熱的設備因溫度范圍而異，例如加熱器材料、溫度控制傳感器、容器結構和材料。

按類型分類

	I型內部熱量和碳	II型：內部熱量、金屬等	III.型外部熱量
型	甚高頻-I.（C）	甚高頻-I.（M）	甚高頻-E
加熱溫度范圍	超高溫、高溫（1）、高溫（2） 700~2300°C	超高溫、高溫（1） 1000~2300°C	高溫（1）、高溫（2） 700~1600°C
加熱器材料	硬碳	金屬加熱器 （鎢、鉬、碳化硅）	金屬加熱器 （圓錐線、碳化硅）
容器材料	不銹鋼：SUS304 （帶水冷夾套）	不銹鋼：SUS304 （帶水冷夾套）	爐芯管： 氧化鋁管（~1600°C）， 石英玻璃管（~1200°C）
結構

加熱器材料有碳（I型）和金屬（II型）兩種。 碳基加熱器成本低，但它們會產生細粉，因此如果需要清潔，請使用金屬基加熱器。 此外，在高溫范圍（2）中，即使在高溫范圍內溫度也相對較低，根據加熱器材料（III型），可以使用低成本的角質線或硬質合金二氧化硅材料。

由于在超高溫和高溫（1）中加熱區域的溫度較高，因此從**角度考慮，容器通常是具有雙重結構的水冷夾套型（I型和II型），材料為不銹鋼。

對于較小的，也可以選擇III型（管式爐）形狀。 容器材料為氧化鋁管或石英玻璃管，有效面積為圓柱形。

溫度范圍和配置

*1） 鉬：鉬 W：鎢碳化硅：碳化硅

在超高溫區域，無法通過將傳感器插入加熱到高溫的區域來測量溫度，因此使用輻射溫度計。 在高溫范圍內，將K型熱電偶（鋁鎳鋁-鉻合金）插入700°C~1100°C（高溫（2））的加熱區域，在1000°C~1500°C（高溫（1））范圍內，將S，R，B型（鉑鉑鉬合金）插入加熱區域以測量溫度。

冷卻

有兩種冷卻方式：自然冷卻、氣體冷卻、油冷卻等。 如果要在短時間內冷卻，可以安裝單獨的冷卻室。

真空爐排氣系統

根據真空爐的用途和壓力范圍選擇真空泵配置。 如果需要清潔度，我們選擇干泵，干泵+渦輪分子泵或低溫泵。

壓力范圍（真空度）和真空泵

*）壓力（真空度）是容器內的壓力，它高于真空泵入口壓力的原因是管道的阻力和容器內氣體產生的影響。

駕駛操作

在設備中設置加工材料后，您可以選擇自動真空排氣、溫升、冷卻和大氣壓恢復（全自動操作），也可以選擇單獨操作每個過程的手動操作。

您可以選擇只需要指定加熱溫度的情況，也可以選擇程序控制來設置設定的溫度和升溫時間。

PID控制用于溫度控制。

**回路：檢測加熱器過溫、冷卻水不足、真空異常等，停止加熱器或完全停止加熱器。