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產品詳情
  • 產品名稱:YAMATAKE山武藍寶石隔膜真空計

  • 產品型號:V8C
  • 產品廠商:YAMATAKE山武
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簡單介紹:
藍寶石隔膜真空計型號 V8,通過應用MEMS加工技術的傳感器,改善了耐沉積性能。 受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機械特性優異的單晶體藍寶石,型號 V8S現在可以支持在高溫環境中使用。
詳情介紹:

藍寶石隔膜真空計
型號 V8C/V8S



藍寶石隔膜真空計型號 V8,通過應用MEMS加工技術的傳感器,改善了耐沉積性能。
受壓部采用了高耐腐蝕性、高耐熱性且機械特性優異的單晶體藍寶石,型號 V8S現在可以支持在高溫環境中使用。

通過提高耐沉積性能,減少停機時間

應用MEMS加工技術,改善了漂移量。

應力平衡結構
增加感壓部的外周部厚度,
通過抵消外周部和中心部的應力平衡,
減少零點漂移

V8傳感器結構

應力平衡結構

凹凸傳感器
感壓部表面進行凹凸加工,
切斷附著膜,減少沉積物的應力影響

凹凸傳感器

可應對過程氣體的更高溫度

通過基板部分和傳感器部的分離及使用材料的改善,型號 V8S現在可以支持在高溫環境中使用。

通過小型化減少占用空間

提高了內部組件的空間利用率,減少了體積。(與本公司以往產品相比)

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